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  • 晶圆甩干机

    1.是高洁净度的冲洗旋干设备。主要系应用于硅晶圆、掩模板、太阳能电池等材料的高洁净度冲洗旋干。设备具有单工作室、双工作室两种结构。 2.产品类型:有立式单腔,双腔晶圆甩干机(2-12寸),水平多工位甩干机(2-12寸) 3.单次甩干数量1-25块 4.作业程序:冲洗、烘干的步骤顺序、时间、 转速等可分段编辑,(可设 recipe 为 10 个)

    更新时间:2024-03-28
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    厂商性质:经销商
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