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  • 分子束外延薄膜沉积系统MBE

    分子束外延薄膜沉积系统MBE 是在超高真空系统中把所需要的结晶材料放入到喷射炉中,将喷射炉加热。使结晶材料形成分子束,从炉中喷出后,沉积在高温的单晶基片上。如果设置几个喷射炉,就可以制取多元半导体混晶,又可以同时进行掺杂。可以精确地控制结晶生长,进行沉积系统中结晶生长过程的研究。

    更新时间:2024-03-28
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