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  • 快速退火炉RTP

    快速退火炉RTP 1. 主要功能:快速热退火,快速热氧化,快速热氮化,扩散,化合物半导体退火,离子注入后退火,电极合金化等2. 样片尺寸:8inch,向下兼容,支持不规整样品退火3. 退火温度范围:室温~1200 ℃。4. 室温到1000度,最快升温速率120 ℃/second

    更新时间:2023-10-23
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    厂商性质:经销商
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