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WLCSP(WaferLevelChipScalePackaging)即晶圆级芯片封装方式,不同于传统的芯片封装方式(先切割再封测,而封装后至少增加原芯片20%的体积),此种技术是先在整片晶圆上进行封装和测试,然后才切割成一个个的IC颗粒,...
半导体研磨抛光机是半导体制造过程中用于平坦化晶圆表面的关键设备。通过化学和机械相结合的方式,去除晶圆表面的不规则性,使得其表面光滑、平整。半导体行业的发展对这一设备的要求日益提高,尤其是在更先进的制程节点下,要求更加精确和高效的平面化过程。半导体研磨抛光机的基本结构:1.研磨抛光盘:是核心部分。研磨抛光盘通常由硬质材料制成,表面覆盖着细颗粒的研磨材料。在研磨过程中,晶圆被压在抛光盘上,产生摩擦力,从而去除表面的不平整部分。2.晶圆载台:载台用于固定晶圆,并保证晶圆在研磨抛光过...
半导体研磨抛光机是半导体制造过程中不可缺设备之一,它主要用于半导体材料表面的精密加工,确保其在后续加工环节中能够满足严格的精度和质量要求。研磨抛光机不仅影响半导体器件的性能,还决定了产品的良品率。半导体研磨抛光机的基本原理:1.研磨过程:研磨是通过粗糙的磨料与半导体材料表面产生相对运动,使表面不平整的部分被磨掉,达到去除表面缺陷的目的。研磨过程中所使用的磨料颗粒通常较大,通常为硅碳或氧化铝等材质。研磨过程中的关键参数包括磨盘的转速、磨料的选择和使用压力。2.抛光过程:抛光是为...
脉冲激光沉积镀膜机PLD是一种用于薄膜材料制备的先进技术,广泛应用于电子、光学、超导、磁性材料等领域的研究和制造中。PLD技术凭借其优点,如高质量薄膜的制备能力、较好的成膜控制性和较广的应用范围,逐渐成为科学研究和工业生产中的一种重要薄膜沉积方法。脉冲激光沉积镀膜机PLD的基本原理:1.激光照射靶材:高能激光束聚焦到靶材表面,激光束的脉冲能量能够迅速加热靶材,导致靶材表面的物质蒸发、升华或发生激光溅射。2.形成等离子体:激光照射下,靶材表面物质发生强烈的蒸发过程,形成高温高密...
纳米压印系统作为一种创新的微纳制造技术,具有高的分辨率、低成本和高效率等特点,正在成为半导体、光电子、生物医学等多个领域中的关键技术。纳米压印系统的优势:1.高分辨率:纳米压印技术能够达到亚10纳米级别的分辨率,甚至能够制作1纳米以下的纳米结构,这使得其在微电子、光子学、量子计算等领域的应用具有巨大的优势。2.低成本:相比于传统的光刻技术,纳米压印技术的设备成本和运行成本相对较低,特别是在大规模生产中,能够大幅降低生产成本。3.高效率与高产量:纳米压印技术的生产效率相对较高,...
化学机械抛光机CMP是集化学反应与机械作用于一体的表面加工技术,广泛应用于半导体、光学、液晶显示器(LCD)以及其他精密工业中,尤其在集成电路(IC)的制造过程中起到了至关重要的作用。CMP技术通过化学反应和机械力的协同作用,有效去除材料表面不平整的部分,使得表面达到镜面级的平滑度。化学机械抛光机CMP的工作原理:1.化学反应:化学反应主要是通过化学溶液中的活性物质与材料表面发生反应,溶解表面的一部分物质。这些化学溶液通常是酸性或碱性的,含有一定浓度的腐蚀剂,能够选择性地去除...