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快速退火炉RTP

简要描述:快速退火炉RTP 1. 主要功能:快速热退火,快速热氧化,快速热氮化,扩散,化合物半导体退火,离子注入后退火,电极合金化等2. 样片尺寸:8inch,向下兼容,支持不规整样品退火3. 退火温度范围:室温~1200 ℃。4. 室温到1000度,最快升温速率120 ℃/second

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-03-28
  • 访  问  量: 470

详细介绍

一、快速退火炉RTP 产品性能:

1. 主要功能:快速热退火,快速热氧化,快速热氮化,扩散,化合物半导体退火,离子注入后退火,电极合金化等

2. 样片尺寸:8inch,向下兼容,支持不规整样品退火

3. 退火温度范围:室温~1200 ℃。

4. 室温到1000度,最快升温速率120 ℃/second  

5. 全程热电偶测温,不使用高温计,无需额外校准

6. 退火温度的重复性、准确性 ± 1 ℃

7. 两路工艺气体,MFC流量计控制,流量为0-5NLM

8. 可通入氮气、氧气,可以分别通入或者通入混合气体

9. 可选择真空退火模式,真空度可达10^-6hpa

10. 配置前级泵,抽速3L/s,极限压力4*10-2pa

11.SPS SIMATIC 软件控制工艺过程,可编程序不少于50个,且每个程序可编程步骤不少于50步。

二、快速退火炉RTP 企业简介:

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。


 

 

 

 

 

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