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批量晶圆处理等离子系统采用模块化设计,其模块化控制系统使用最新一代处理器,基于 Linux 平台作为操作系统,以及图形用户界面 (GUI)。因此,可支持手动和全自动控制过程,并且通过 MFC 控制过程气体。在此过程中,所有参数都被写入程序并存储在数据库中。与此同时,当前的压力值、气体流量值、输出值等都显示在显示屏上,如果当前值偏离设定值,则会触发相应的警报。
去胶设备NA-1300系列 从关键的新世代晶圆制程到晶圆封装,Luminous NA系列可对应广范围的各类晶圆尺寸的各类工艺需求。