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    激光退火设备 技术参数： 1. 应用范围：对重掺杂碳化硅（SiC）表面沉积的过渡金属进行退火，形成良好的欧姆接触 2. 加工尺寸：4inch、6inch 3. 加工速度：1000mm/s 5. 平台参数：行程300mm×300mm 6. 重复定位精度：±0.001mm 7. 激光器参数:紫外 8. 稼动率:98%以上 9. 重大故障间隙时间:＞1000H 10.良率:≥99.5%

    更新时间：2024-03-28
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