欢迎来到深圳市矢量科学仪器有限公司网站！
咨询热线

19842703026

当前位置：首页  >  产品中心  >  半导体前道工艺设备  >  全自动SCRUBBER清洗机

产品分类

Product Category

相关文章

Related Articles
  • 全自动SCRUBBER清洗机
    全自动SCRUBBER清洗机

    全自动SCRUBBER清洗机 简介： ​清洗机可以用于对晶圆表面，背面及晶圆边缘的清洗，通过创新研发的二流体喷嘴技术可将附着在晶圆表面的细微颗粒污染物去除。通过大量仿真与工艺试验相结合，优化出最佳的清洗工艺参数，确保不损伤晶圆表面的图形；对于微米级别大颗粒，采用特殊材料的毛刷或高压喷淋对晶圆进行擦洗去除。配合晶圆翻转装置和夹持式承片台，可在同一台设备中实现对晶圆的正反两面进行清洗。

    更新时间：2024-03-28
    型号：
    厂商性质：经销商
    浏览量：819
共 1 条记录，当前 1 / 1 页  首页  上一页  下一页  末页  跳转到第页