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  • 实验型匀胶机

    实验型匀胶机 技术参数: 1.适用基片尺寸:小于1cm小碎片及到8寸标准晶圆,非标准基片可定制载物盘 2.自动滴胶功能 3.支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗、控温等功能模块个性化定制 4.转速范围:20-10000rpm 5.转速分辨率:±1rpm 6.加速度可调范围:20-50000rpm/s 7.单步时长:3000s 8.时间分辨率:0.1s

    更新时间:2023-06-09
    型号:
    厂商性质:经销商
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