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实验型匀胶机

简要描述:实验型匀胶机 技术参数:
1.适用基片尺寸:小于1cm小碎片及到8寸标准晶圆,非标准基片可定制载物盘
2.自动滴胶功能
3.支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗、控温等功能模块个性化定制 
4.转速范围:20-10000rpm
5.转速分辨率:±1rpm
6.加速度可调范围:20-50000rpm/s
7.单步时长:3000s
8.时间分辨率:0.1s

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-06-09
  • 访  问  量: 279

详细介绍

一、实验型匀胶机 技术参数:


1. 适用基片尺寸:小于1cm小碎片及到8寸标准晶圆,非标准基片可定制载物盘

2. 自动滴胶功能                     

3. 支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗、控温等功能模块个性化定制

4. 转速范围:20-10000rpm                           

5. 转速分辨率:±1rpm                                                                                      

6. 加速度可调范围:20-50000rpm/s                    

7. 单步时长:3000s

8.时间分辨率:0.1s

二、实验型匀胶机 公司简介:


深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。


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