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  • 低压化学气相沉积系统LPCVD

    低压化学气相沉积系统LPCVD 简介: 1. 满足石墨烯和碳纳米管研究的高温和快速冷却要求 2. 直径200毫米的石英室 3. 内部石英管的设计便于拆卸和清洗 4. 基片尺寸可达直径150毫米 5. 三区电阻炉,150毫米的均匀温度区

    更新时间:2023-06-07
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