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  • 离子注入机

    离子注入机 参数: 1. 单价离子最大加速能量≥200keV,并增加减速系统实现单价离子在5keV~200keV的能量范围 2. 可用于2、3、4、6、8英寸晶圆以及不规则碎片 3. 可注入B、P、As、Al、S、H、Mg、Si离子 4. 注入剂量精准度≤1.5%

    更新时间:2023-06-09
    型号:
    厂商性质:经销商
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