欢迎来到深圳市矢量科学仪器有限公司网站!
咨询热线

19842703026

当前位置:首页  >  产品中心  >  半导体前道工艺设备  >  晶圆甩干机  >  晶圆甩干机

晶圆甩干机

简要描述:1.是高洁净度的冲洗旋干设备。主要系应用于硅晶圆、掩模板、太阳能电池等材料的高洁净度冲洗旋干。设备具有单工作室、双工作室两种结构。
2.产品类型:有立式单腔,双腔晶圆甩干机(2-12寸),水平多工位甩干机(2-12寸)
3.单次甩干数量1-25块
4.作业程序:冲洗、烘干的步骤顺序、时间、 转速等可分段编辑,(可设 recipe 为 10 个)

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-06-12
  • 访  问  量: 602

详细介绍

一、产品介绍:            

1. 晶圆甩干机系高洁净度的冲洗旋干设备。主要系应用于硅晶圆、掩模板、太阳能电池等材料的高洁净度冲洗旋干。设备具有单工作室、双工作室两种结构                                                                    

2. 产品类型:有立式单腔,双腔晶圆甩干机(2-12寸),水平多工位甩干机(2-12寸)

3. 单次甩干数量1-25块                                                          

4. 作业程序:冲洗、烘干的步骤顺序、时间、 转速等可分段编辑,(可设 recipe 为 10 个)

二、企业简介:          

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。





产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7