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化学机械磨抛机

简要描述:SL-1023化学机械磨抛机,适用于 CMP 平坦化和平滑化工艺技术, 整机研磨部分采用防腐材料,耐化学腐
蚀,配置自动滴料器和精密磨抛控制仪,全自动触摸屏面板,从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。

  • 产品型号:SL-1023
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-04-16
  • 访  问  量: 127

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SL-1023化学机械磨抛机,适用于 CMP 平坦化和平滑化工艺技术, 整机研磨部分采用防腐材料,耐化学腐

蚀,配置自动滴料器和精密磨抛控制仪,全自动触摸屏面板,从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型

主要特点:

·超平不锈钢抛光盘(平面度为每 25mm×25mm 小于 0.0025mm)。

·超精旋转轴(托盘端跳小于 0.01mm)。 ·设有两个加工工位,可分别进行控制。

·配有全自动控制触摸屏面板,可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。 ·配置自动滴料器,流量速率可视化调整, 自动研磨和抛光。

·配置 GPC-100A 精密磨抛控制仪,可调节压力,修整面型,使磨抛更加方便快捷。 ·研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀。

加工的需求。



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