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干法刻蚀装置

简要描述:对应光学器件、MEMS制造的干法刻蚀装置NLD-5700

对应光学器件、MEMS制造的干法刻蚀装置NLD-5700是搭载了磁性中性线(NLD- neutral loop discharge)等离子源的量产用干法刻蚀装置。(可实现产生低压、低电子温度、高密度的等离子)

  • 产品型号:NLD-5700
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-28
  • 访  问  量: 121

详细介绍

对应光学器件、MEMS制造的干法刻蚀装置NLD-5700

对应光学器件、MEMS制造的干法刻蚀装置NLD-5700是搭载了磁性中性线(NLD- neutral loop discharge)等离子源的量产用干法刻蚀装置。(可实现产生低压、低电子温度、高密度的等离子)
  • 产品特性 / Product characteristics

  • •      在洁净房内作业可扩张为双腔。(可选配腔室:NLD、有磁场ICP、CCP或者去胶室)

    NLD为时间空间可控的等离子,因此设备干法清洁容易。
    腔体维护简便。
    从掩模刻蚀到石英、玻璃刻蚀,可提供各类工艺解决方案。
    门的半导体技术研究所会提供完备的工艺支持体制。
  • 产品应用 / Product application

  • 光学器件(折射格子、光波导、光学开关等等)、凹凸型微透镜。
    流体路径作成或光子学结晶。
  • 产品参数 / Product parameters


1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年(公司成立年)
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额



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