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自然氧化膜去除设备

简要描述:批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300批处理式自然氧化膜去除设备RISETM-300是用于去除位于LSI的Deep-Contact底部等难以去除的自然氧化膜的批处理式预清洗装置。可处理200mm,300mm尺寸晶圆。

  • 产品型号:RISE-300
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-28
  • 访  问  量: 121

详细介绍

批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300批处理式自然氧化膜去除设备RISETM-300是用于去除位于LSI的Deep-Contact底部等难以去除的自然氧化膜的批处理式预清洗装置。可处理200mm,300mm尺寸晶圆。

  • 产品特性 / Product characteristics

  • •高产率以及低CoO

    •良好的刻蚀均一性(小于±5%/批)和再现性

    •干法刻蚀

    •Damage-Free(远端等离子、低温工艺)

    •自对准接触电阻仅为湿法的1/2

    •灵活的装置布局

    •高维护性(方便的侧面维护)

    •300mm晶圆批处理:50枚/批


  • 产品应用 / Product application

  • 自对准接触形成工艺处理

    电镀工艺处理

    晶膜生长处理

    Co/Ni自对准多晶硅化物的处理

  • 产品参数 / Product parameters


1、公司介绍深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。公司主要业务如下:装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。2、成长历程•2020年(公司成立年)•2300万订单额2021年 7000万订单额2022年 2.5亿订单额2023年3.2亿订单额



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