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脉冲激光沉积镀膜机PLD可适用于多种材料和不同类型的衬底

更新时间:2024-05-16  |  点击率:34
  脉冲激光沉积镀膜机PLD是一种物理气相沉积技术,用于制备各种类型的薄膜和多层结构。PLD技术以其能够保持靶材的化学成分不变和在复杂衬底上生长高质量的薄膜而著称。广泛应用于研究实验室和工业领域,如半导体、金属、陶瓷、聚合物以及生物材料等的薄膜制备。通过激光发生器产生的高能脉冲激光束经过聚焦光学系统后,照射到旋转的靶材上。激光束的能量被靶材表面吸收,导致局部区域迅速升温并蒸发,形成高温高压的等离子体羽流。这个等离子体羽流随后沉积在对面放置的衬底上,形成薄膜。
 

 

  脉冲激光沉积镀膜机PLD的结构组成:
  1.激光发生器:产生高能量的脉冲激光束。
  2.聚焦光学系统:将激光束聚焦到靶材上。
  3.真空腔体:包含靶材和衬底,可以维持高真空或特定的气体环境。
  4.靶材支架:固定靶材,使其能够旋转和移动以优化薄膜的均匀性。
  5.衬底加热器:控制衬底的温度,有时还需要冷却功能。
  6.监控系统:实时监控沉积过程,包括膜厚监测和反射率监测。
  主要特点:
  1.保持化学计量:能够精确复制靶材的化学组成,适合复杂化合物的薄膜生长。
  2.高质量薄膜:生长的薄膜具有良好的均匀性、结晶性和界面清晰度。
  3.灵活性高:适用于多种材料和不同类型的衬底,包括非平面和敏感材料。
  4.实验参数可调:通过调整激光能量、气压、衬底温度等参数,可以控制薄膜的性质。
  5.原位监测:配备膜厚和光学性质监测设备,实现精确控制。
  脉冲激光沉积镀膜机PLD的应用领域:
  1.半导体工业:制备集成电路中的多层金属化结构。
  2.光电材料:生长发光二极管、激光二极管、太阳能电池等光电器件。
  3.超导材料:制备高温超导薄膜。
  4.生物医学:用于生物传感器和人工骨骼的生长。
  5.纳米材料研究:合成纳米颗粒、量子点等低维结构。