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干法刻蚀设备

简要描述:干法刻蚀设备 APIOS NE-950EX

对应LED量产用的干法刻蚀设备「NE-950EX」相对我司以往设备实现了140%的生产力。是搭载了ICP高密度等离子源和爱发科自有的星型电的干法刻蚀设备。

  • 产品型号:APIOS NE-950EX
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-28
  • 访  问  量: 107

详细介绍

干法刻蚀设备 APIOS NE-950EX

对应LED量产用的干法刻蚀设备「NE-950EX」相对我司以往设备实现了140%的生产力。是搭载了ICP高密度等离子源和爱发科自有的星型电的干法刻蚀设备

  • 产品特性 / Product characteristics

  • •      4inch晶圆可放置7片同时处理,6inch晶圆可实现3片同时处理,小尺寸晶圆方面,2inch晶圆可实现29片、3英寸可对应12片同时处理。

    搭载了在化合物半导体域拥有600台以上出货实绩的有磁场ICP(ISM)高密度等离子源。
    高生产性(比以提高140%)。
    ※1 爱发科利第3188353号
    为防止RF投入窗的污染搭载了爱发科星型电。
    ※2 爱发科利第3429391号
    •贯彻Depo对策,实现了维护便利、长期稳定、高信赖性的硬件。
    拥有丰富的工艺应用的干法刻蚀技术(GaN蓝宝石、各种metal、ITO、SiC、AlN、ZnO、4元系化合物半导体)。
    丰富的可选机能。


  • 产品应用 / Product application

  • •       对应LED的GaN、蓝宝石、各种金属、ITO等的干法刻蚀设备

  • 产品参数 / Product parameters


1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年(公司成立年)
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额



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