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NLD干法刻蚀设备

简要描述:研究开发向NLD干法刻蚀设备NLD-570

研究开发向NLD干法刻蚀设备NLD-570,是搭载了爱发科磁性中性线(NLD- neutral loop discharge)等离子源的装置,此NLD技术可实现产生低压、低电子温度、高密度的等离子。

  • 产品型号:NLD-570
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-28
  • 访  问  量: 113

详细介绍

研究开发向NLD干法刻蚀设备NLD-570

研究开发向NLD干法刻蚀设备NLD-570,是搭载了爱发科磁性中性线(NLD- neutral loop discharge)等离子源的装置,此NLD技术可实现产生低压、低电子温度、高密度的等离子。

  • 产品特性 / Product characteristics

  • •NLD用于与ICP方式相比更低压、高密度、更低电子温度等离子体的石英、玻璃、水晶、LN/LT基板的加工。

    •高硬玻璃、硼硅酸玻璃等不纯物的多种玻璃加工,在形状或表面平滑性方面有优异的刻蚀性能。
    •石英及玻璃作为厚膜resist mask时的也可实现深度刻蚀(100μ m以上)。
    •可实现高速刻蚀(石英>1μ m/min、Pyrex>0.8μ m/min)
    •可追加cassette室。
  • 产品应用 / Product application

  • •       光学器件(光衍射格子、変调器、光开关等等)、凹凸型微透镜。流体路径作成或光子学结晶。

  • 产品参数 / Product parameters



1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年(公司成立年)
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额








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