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高密度等离子刻蚀装置

简要描述:高密度等离子刻蚀装置ULHITETM NE-7800H

高密度等离子客户装置ULHITE NE-7800H是对应刻蚀FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAM等器件所用的高难度刻蚀材料(强电介质层、贵金属、磁性膜等)的Multi-Chamber型低压高密度等离子刻蚀设备。

  • 产品型号:ULHITETM NE-7800H
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-28
  • 访  问  量: 111

详细介绍

高密度等离子刻蚀装置ULHITETM NE-7800H

高密度等离子客户装置ULHITE NE-7800H是对应刻蚀FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAM等器件所用的高难度刻蚀材料(强电介质层、贵金属、磁性膜等)的Multi-Chamber型低压高密度等离子刻蚀设备。
  • 产品特性 / Product characteristics

  • 有磁场ICP(ISM)方式-可产生低圧・高密度plasma、为不挥发性材料加工的用设备。

    可提供对应从常温到高温(400ºC)的层积膜整体刻蚀、硬掩膜去除的刻蚀解决方案。

    通过从腔体到排气line、DRP为止的均匀加热来防止沉积物。

    该设备采用可降低养护清洗并抑制partical产生的构造和材料及加热机构,是在不挥发性材料的刻蚀方面拥有丰富经验的量产装置。

    实现了长期的再现性、安定性


  • 产品应用 / Product application

  • FeRAM, MRAM, ReRAM, CBRAM, PcRAM等.

  • 产品参数 / Product parameters


1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年(公司成立年)
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额



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