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刻蚀设备

简要描述:量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800

量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800是可以对应单腔及多腔、重视性价比拥有扩展性的刻蚀设备。

  • 产品型号:NE-5700/NE-7800
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-28
  • 访  问  量: 117

详细介绍

量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800

量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800是可以对应单腔及多腔、重视性价比拥有扩展性的刻蚀设备
  • 产品特性 / Product characteristics

  • •      除单腔之外,另可搭载有磁场ICP(ISM)或NLD等离子源、去胶腔体、CCP腔体等对应多种刻蚀工艺。

    为实现制程再现性及安定性搭载了星型电及各种调温技能。

    拥有简便的维护构造,缩短了downtime,提供清洗、维护及人员训练服务等综合性的售后服务体制。

    门的半导体技术研究所会提供完备的工艺支持体制。

  • 产品应用 / Product application

  • 化合物(LED或LD、高频器件)或Power device(IGBT配線加工、SiC加工)。
    金属配线或层间绝缘膜(树脂类)、门电加工工艺
    强电介质材料或贵金属刻蚀。
    磁性体材料加工。
  • 产品参数 / Product parameters


1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年(公司成立年)
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额



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