欢迎来到深圳市矢量科学仪器有限公司网站!
咨询热线

19842703026

当前位置:首页  >  产品中心  >  行业专用仪器及设备  >  离子注入设备  >  IH-860DSICSiC用高温离子注入设备

SiC用高温离子注入设备

简要描述:SiC用高温离子注入设备 IH-860DSIC

搭载了高温ESC(静电吸附卡盘)的面向SiC量产用的高能粒子注入装置。

  • 产品型号:IH-860DSIC
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-28
  • 访  问  量: 122

详细介绍

SiC用高温离子注入设备 IH-860DSIC

搭载了高温ESC(静电吸附卡盘)的面向SiC量产用的高能粒子注入装置。

  • 产品特性 / Product characteristics

  • 可实现自动连续高温处理注入

    1价离子可注入至350keV、2价离子可注入至700keV

    (Option:1价离子可注入至430keV、2价离子可注入至860keV)

    通过Dual-End-Station(双工位)实现高产能;

    (A系4"高温ESC/B系3"高温ESC、A系6"高温ESC/B系6"常温ESC等等,可配合客户的希望就行规格配置)

    可减轻操作员的负担

    •      紧凑式设计

    可大范围对应从试作到量产的各类需求

  • 产品应用 / Product application

  • 对应SiC的离子注入装置。

  • 产品参数 / Product parameters

1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年(公司成立年)
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额



产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7