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离子注入设备

简要描述:研究开发用中电流离子注入设备IMX-3500

中电流离子注入装置IMX-3500为大能量200keV、对应大晶圆尺寸8inch的离子注入装置,适用于大学等机构的研究开发。

  • 产品型号:IMX-3500
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-28
  • 访  问  量: 87

详细介绍

研究开发用中电流离子注入设备IMX-3500

中电流离子注入装置IMX-3500为大能量200keV、对应大晶圆尺寸8inch的离子注入装置,适用于大学等机构的研究开发。

  • 产品特性 / Product characteristics

  • •       可适用于晶圆尺寸8inch等,搭载了可对应不定形基板的台板。

    离子源,除Gas source之外,另外可以使用安全方面更容易处理的B、P、As离子等固体蒸发源。
    HV terminal的部分,与量产装置是同样的构成,可确保高信赖性。


  • 产品应用 / Product application

  • •      教育、研究开发等

  • 产品参数 / Product parameters


1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年(公司成立年)
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额



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