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离子注入设备

简要描述:可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30

低加速、高浓度对应的离子注入设备。

  • 产品型号:SOPHI-30
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-28
  • 访  问  量: 108

详细介绍

可对应低速高浓度的离子注入设备SOPHI-30

低加速、高浓度对应的离子注入设备

  • 产品特性 / Product characteristics

  • 枚叶式

    可对应薄片
    非质量分离机的对比优点
    1)对应低加速.高浓度的好产能离子注入设备
    2)相比过去约一半的低价
    3)相比过往设备占用面积为1/3的紧凑型设计


  • 产品应用 / Product application

  • Power Device等薄片基板工艺、IGBT工艺
  • 产品参数 / Product parameters

  • 基板尺寸:Max200mm


1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年(公司成立年)
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额



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