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枚叶式等离子CVD设备

简要描述:枚叶式等离子CVD设备CMD系列

CMD系列是用SiH4和TEOS成膜的a-Si膜、氧化硅膜、氮化膜成膜用的枚叶式CVD设备。

  • 产品型号:CMD系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-28
  • 访  问  量: 113

详细介绍

枚叶式等离子CVD设备CMD系列

CMD系列是用SiH4和TEOS成膜的a-Si膜、氧化硅膜、氮化膜成膜用的枚叶式CVD设备。

  • 产品特性 / Product characteristics

  • 和传统的工艺温度相比,每个unit的驱动系统可以在更高的温度下运行、开发真空搬送机械手来实现搬送系统的稳定性。

    通过改善反应室的内部结构、气体供给系统,达到长期稳定的TEOS(SiO2)膜速率。

    通过加热反应气体的通道,在排除设备中的气体排出、抑制配管Trap未使用时的配管副生成物的粘附、可以缩短保养时间。

    可以轻松的完成单独基板管理,如成膜条件。

  • 产品应用 / Product application

  • 低温P-Si、α-Si TFT

  • 产品参数 / Product parameters



1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年(公司成立年)
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额



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