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Batch式高真空蒸发设备

简要描述:Batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作,适用于研究开发及少量生产。

  • 产品型号:ei系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-04
  • 访  问  量: 179

详细介绍

1. 产品概述

Batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作,适用于研究开发及少量生产。

2. 设备用途/原理

Power Device等化合物相关LED、LD、高速device各种实验用其他各种电子部件

3. 设备特点

可搭载多样蒸发源(EB、电阻式、EB+电阻式)。对应不同制程可选多种基板holder(lift-off、行星式、卫星式等)。φ2 in〜 6 in基板、矩形基板、Si、化合物、glass、陶瓷灯各种基板对应。液晶触控板集中现实操作。集成电脑拥有优异的操作性和性能(recipe功能、data-logging、maintenance assistant功能)。

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