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Batch式高真空蒸发设备

简要描述:Batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作,适用于研究开发及少量生产

  • 产品型号:ei系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-27
  • 访  问  量: 90

详细介绍

Batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作,适用于研究开发及少量生产

  • 产品特性 / Product characteristics

  •  •      可搭载多样蒸发源(EB、电阻式、EB+电阻式)

    对应不同制程可选多种基板holder(lift-off、行星式、卫星式等)。

    φ2 in〜 6 in基板、矩形基板、Si、化合物、glass、陶瓷灯各种基板对应。
    液晶触控板集中现实操作。
    集成电脑拥有优异的操作性和性能(recipe功能、data-logging、maintenance assistant功能)。
  • 产品应用 / Product application

  • Power Device等化合物相关
    LED、LD、高速device
    各种实验用
    其他各种电子部件
  • 产品参数 / Product parameters






 1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年(公司成立年)
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额


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