欢迎来到深圳市矢量科学仪器有限公司网站!
咨询热线

19842703026

当前位置:首页  >  产品中心  >  行业专用仪器及设备  >  退火炉  >  PFS系列活性化退火设备

活性化退火设备

简要描述:PFS系列是SiC工艺等高温处理工艺中,配合使用的退火设备。可最大对应φ 150mm。

  • 产品型号:PFS系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-27
  • 访  问  量: 134

详细介绍

活性化退火设备PFS系列

PFS系列是SiC工艺等高温处理工艺中,配合使用的退火设备。可最大对应φ 150mm。

  • 产品特性 / Product characteristics

  • 最大可对应φ150mm基板

    最大可加热2000℃

    高真空对应

    单批次25片一次性处理(也有5片处理机)

     

     

     

  • 产品应用 / Product application

  • SiC功率器件用

    研究开发

    量产用

     

     

  • 产品参数 / Product parameters


  • 关于公司

  •  1、公司介绍

  • 深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

  • 公司主要业务如下:

  • 装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

  • 设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。

  • 厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。

  • 经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。

  • 2、成长历程

  • •2020年(公司成立年)

  • •2300万订单额

  • 2021年 7000万订单额

  • 2022年 2.5亿订单额

  • 2023年3.2亿订单额

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7