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紫外线臭氧清洗设备

简要描述:UV-300HC紫外线臭氧清洗设备是一款高性能的盒式装载UV臭氧清洗机,用于生产。这个行业先的系统有2个装载盒,可以达到200-300nm/min的高灰化率。该系统利用紫外线照射、高浓度臭氧和可控阶段加热的组合,温和而有效地去除硅、玻璃、化合物半导体(GaN、SiC、GaAs和InP)、蓝宝石、陶瓷等各种基材上的有机物。

  • 产品型号:UV-300HC
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-04
  • 访  问  量: 195

详细介绍

1. 产品概述

UV-300HC是一款高性能的盒式装载UV臭氧清洗机,用于生产。这个行业先的系统有2个装载盒,可以达到200-300nm/min的高灰化率。该系统利用紫外线照射、高浓度臭氧和可控阶段加热的组合,温和而有效地去除硅、玻璃、化合物半导体(GaN、SiC、GaAs和InP)、蓝宝石、陶瓷等各种基材上的有机物。

2. 设备用途/原理

大加工尺寸为ø240 mm (ø3" x 5, ø4" x 3, ø8" x 1)200 - 300 nm/min的高灰化率。加热阶段加快了清洗速度,实现了宽广的工艺温度范围。通过调整平台和石英扩散板之间的间隙,可以提高基板的均匀性。紧凑,使用小的洁净室空间简单,在大气压下操作--不需要真空系统。柔软、干燥的工艺不会对基材造成电损伤。内置臭氧催化剂装置,可将废气中的臭氧浓度降低到安全水平。

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