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紫外线臭氧清洗机

简要描述:UV-300H是一款高性能的紧凑型紫外线臭氧清洗机。通过滑动抽屉将基材装入系统中。紫外线照射、高浓度臭氧和阶段性加热的组合,可温和而有效地去除硅、玻璃、化合物半导体(GaN、SiC、GaAs、InP)、蓝宝石、陶瓷等各种基材上的有机物。

  • 产品型号:UV-300H
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-27
  • 访  问  量: 85

详细介绍

 1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年(公司成立年)

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额


紫外线臭氧清洗机 UV-300H

200 - 300 nm/min的高灰化率。

概要

UV-300H是一款高性能的紧凑型紫外线臭氧清洗机。通过滑动抽屉将基材装入系统中。紫外线照射、高浓度臭氧和阶段性加热的组合,可温和而有效地去除硅、玻璃、化合物半导体(GaN、SiC、GaAs、InP)、蓝宝石、陶瓷等各种基材上的有机物。

 

主要特点和优点

    • 大加工尺寸为ø300mm(ø12英寸)。

    • 200 - 300 nm/min的高灰化率。

    • 加热阶段加快了清洗速度,实现了宽广的工艺温度范围。

    • 通过调整平台和石英扩散板之间的间隙,可以提高基板的均匀性。

    • 紧凑,使用小的洁净室空间

    • 简单,在大气压下操作--不需要真空系统。

    • 柔软、干燥的工艺不会对基材造成电损伤。

    • 抽屉联锁保证了当抽屉打开时系统无法工作。

    • 内置臭氧催化剂装置,可将废气中的臭氧浓度降低到安全水平。

应用

  • 塑料包装和引线框架的表面清洁。

  • 复合半导体(GaN、SiC、GaAs和InP)的表面清洗。

  • 表面改性(润湿性和附着力的改善

  • 表面氧化(薄氧化层沉积)

  • 光阻剂的灰化、剥离和除尘。

  • 清除有机污染物

  • 紫外线固化



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