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紫外线臭氧清洗机

简要描述:UV-1是一款紧凑型台式紫外线臭氧清洗机。该系统将紫外线照射、臭氧和平台加热结合在一起,温和而有效地去除硅、玻璃、化合物半导体(GaN、GaAs、InP、SiC)、蓝宝石、陶瓷等各种基材上的有机物。

  • 产品型号:UV-1
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-06
  • 访  问  量: 200

详细介绍

概要

UV-1是一款紧凑型台式紫外线臭氧清洗机。该系统将紫外线照射、臭氧和平台加热结合在一起,温和而有效地去除硅、玻璃、化合物半导体(GaN、GaAs、InP、SiC)、蓝宝石、陶瓷等各种基材上的有机物。

主要特点和优点

· 最大加工尺寸为ø100 mm(4英寸)。

· 加热阶段加快了清洗速度,实现了宽广的工艺温度范围。

· 紧凑,使用最小的台式空间

· 简单,在大气压下操作--不需要真空系统。

· 柔软、干燥的工艺不会对基材造成电损伤。

· 盖子联锁保证了当盖子打开时,系统无法运行。

· 臭氧催化剂装置,用于将废气中的臭氧浓度降低到安全水平。

· 安全性能自动N₂净化循环、加热级保险丝保护、臭氧洗涤器和紧急停止开关。

应用

· 塑料包装和引线框架的表面清洁。

· 复合半导体(GaN、GaAs、InP和SiC)的表面清洗。

· 表面改性(润湿性和附着力的改善

· 表面氧化(薄氧化层沉积)

· 光阻剂的灰化、剥离和除尘。

· 清除有机污染物

· 紫外线固化





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