欢迎来到深圳市矢量科学仪器有限公司网站!
咨询热线

19842703026

当前位置:首页  >  产品中心  >  行业专用仪器及设备  >  沉积设备  >  Polaris系列8英寸 通用物理气相沉积系统

8英寸 通用物理气相沉积系统

简要描述:Polaris系列 8英寸通用物理气相沉积系统
多种材料膜层工艺能力,低损伤,高深宽比填充能力

  • 产品型号:Polaris系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-26
  • 访  问  量: 105

详细介绍

1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年(公司成立年)

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额


Polaris系列 8英寸通用物理气相沉积系统

1、多种材料膜层工艺能力,低损伤,高深宽比填充能力

Multi material film processing ability, low damage, high aspect ratio filling capability

2、独立工艺腔室,最多可支持 6 个工艺模块

Separate chamber and configure up to 6 process modules

3、优异的温度,颗粒控制能力

Excellent temperature control and particle control

4、配置灵活、大产能、低运营成本

Flexible configuration, higher throughput and lower CoO/CoC


技术参数

1、晶圆尺寸 6、8 英寸

2、适用材料 银、钨化钛、金、铂、钛、氮化钛、铝、铬等

3、适用工艺 倒装工艺、金属电极等

4、适用领域 新兴应用、科研、化合物半导体



产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7