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12英寸通用物理气相沉积系统

简要描述:Polaris系列 12英寸通用物理气相沉积系统
磁控溅射源和腔室结构的设计有效提高靶材利用率

  • 产品型号:Polaris系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-26
  • 访  问  量: 100

详细介绍

1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年(公司成立年)

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额


Polaris系列 12英寸通用物理气相沉积系统

1、磁控溅射源和腔室结构的设计有效提高靶材利用率

Unique magnetron sputtering source and chamber design to obtain high target utilization

2、灵活的腔室配置

Flexible module configuration

3、针对先进封装领域优化、稳定的传输系统,兼容玻璃片、翘曲片、键合片等多种类型基片传输

Standard transfer system optimized for advanced packaging, compatible for various wafer types

4、稳定并且低的Rc表现,良好的颗粒和应力控制能力

Stable and low Rc performance, great particle and stress control ability

5、优化的工艺流程带来大产能表现,低运营成本

Optimized process flow lead to higher throughput and lower CoO/CoC


技术参数

1、晶圆尺寸 12英寸

2、适用材料 铜、钛、氮化钛、钽、氮化钽、钨化钛、金、铝等

3、适用工艺 电极、先进封装中的UBM/RDL

4、适用领域 新兴应用、先进封装



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