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铝物理气相沉积系统

简要描述:eVictor Al PVD 铝物理气相沉积系统,先进的磁控溅射系统,有效提高薄膜均匀性及靶材利用率。

  • 产品型号:eVictor Al PVD
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-05
  • 访  问  量: 287

详细介绍

1. 产品概述

eVictor Al PVD 铝物理气相沉积系统,先进的磁控溅射系统,有效提高薄膜均匀性及靶材利用率。

2. 设备用途/原理

eVictor Al PVD 铝物理气相沉积系统先进的磁控溅射系统,有效提高薄膜均匀性及靶材利用率加热基座和高温静电卡盘设计,具备良好的温度均匀性全新双腔传输平台,可配置性强,多可支持 10 个工艺模块优质的 Whisker 解决方案,降低产品缺陷大产能,低运营成本

3. 设备特点

晶圆尺寸 8、12 英寸适用材料 高温铝、氮化钽、氮化钛适用工艺 热铝、铝焊盘、铝线适用域 新兴应用

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