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铝物理气相沉积系统

简要描述:eVictor Al PVD 铝物理气相沉积系统
先进的磁控溅射系统,有效提高薄膜均匀性及靶材利用率

  • 产品型号:eVictor Al PVD
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-26
  • 访  问  量: 124

详细介绍

1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年(公司成立年)

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额


eVictor Al PVD 铝物理气相沉积系统

1、先进的磁控溅射系统,有效提高薄膜均匀性及靶材利用率

Advanced plasma sputtering system design to obtain good uniformity and high target utilization

2、加热基座和高温静电卡盘设计,具备良好的温度均匀性

Unique design of Heater and HT-ESC, enable superior temperature uniformity control

3、全新双腔传输平台,可配置性强,最多可支持 10 个工艺模块

New platform with two transfer modules, upto 10 process modules configured

4、优质的 Whisker 解决方案,降低产品缺陷

Optimized solution to control whisker defects, better defect performance

5、大产能,低运营成本

Higher throughput, lower CoO/CoC


技术参数

1、晶圆尺寸 8、12 英寸

2、适用材料 高温铝、氮化钽、氮化钛、钛

3、适用工艺 热铝、铝焊盘、铝线

4、适用领域 新兴应用



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