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碳化硅外延系统

简要描述:MARS iCE115 碳化硅外延系统
薄膜和厚膜外延兼容,工艺稳定性高

  • 产品型号:MARS iCE115
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-26
  • 访  问  量: 67

详细介绍

1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年(公司成立年)

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额


MARS iCE115 碳化硅外延系统

1、薄膜和厚膜外延兼容,工艺稳定性高

Thin film and thick film epitaxy compatible, high process stability

2、具备多层外延能力

Multi-layer epitaxy capability

3、气流场和加热场设计,工艺性能优异

Unique flow field and thermal field design provide excellent process performance

4、可靠的压力控制系统,成膜质量均一性好

Reliable pressure control system, good uniformity of film formation quality


技术参数 Technical Parameters

1、晶圆尺寸 4、6 英寸

2、适用材料 碳化硅 SiC

3、适用工艺 N&P 碳化硅外延

4、适用领域 科研、化合物半导体




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