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多片式MOCVD系统

简要描述:Satur系列 多片式MOCVD系统
优异的均匀性、一致性、稳定性控制

  • 产品型号:Satur系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-26
  • 访  问  量: 96

详细介绍

Satur系列 多片式MOCVD系统

1、优异的均匀性、一致性、稳定性控制

Excellent uniformity control (WiW, WtW, RtR)

2、盒对盒全自动传输系统

Cassette to cassette transfer system

3、先进的实时监控系统

Advanced in-situ, real-time monitoring system

4、友好界面与配方编辑功能

User-friendly interface & recipe editor

5、满足 SEMI S2 安全标准

Match SEMI S2 safety standard


技术参数 Technical Parameters

1、晶圆尺寸 4、6、8 英寸

2、沉积材料 氮化镓、砷化镓、磷化铟

3、适用材料 硅、碳化硅、氧化铝、砷化镓、磷化铟

4、适用领域 科研、集成电路、化合物半导体



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