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多片碳化硅外延系统

简要描述:MARS iCE120 多片碳化硅外延系统
产能大,6 英寸运营成本低

  • 产品型号:MARS iCE120
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-26
  • 访  问  量: 58

详细介绍

1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年(公司成立年)

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额


MARS iCE120 多片碳化硅外延系统

1、产能大,6 英寸运营成本低

Higher throughput, lower CoO/CoC for 6 inch

2、薄膜和厚膜外延兼容,工艺稳定性高

Thin film and thick film epitaxy compatible, high process stability

3、具备多层外延能力

Multi-layer epitaxy capability

4、气流场和加热场设计,工艺性能优异

Unique flow field and thermal field design provide excellent process performance

5、可靠的压力控制系统,成膜质量均一性好

Reliable pressure control system, good uniformity of film formation quality

6、兼容 8 英寸

Compatible with 8 inch


技术参数 Technical Parameters

1、晶圆尺寸 6、8 英寸

2、适用材料 碳化硅 SiC

3、适用工艺 N&P 碳化硅外延

4、适用领域 科研、化合物半导体




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