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12英寸单片快速热退火系统

简要描述:Sitara TA230A 12英寸单片快速热退火系统,适用于 260-1200℃快速热处理工艺。

  • 产品型号:Sitara TA230A
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-05
  • 访  问  量: 195

详细介绍

1. 产品概述

Sitara TA230A 12英寸单片快速热退火系统,适用于 260-1200℃快速热处理工艺。

2. 设备用途/原理

Sitara TA230A 12英寸单片快速热退火系统适用于 260-1200℃快速热处理工艺高精度温度控制,提供优异工艺低成本,高产能

3. 设备特点

晶圆尺寸 12 英寸适用工艺 快速热退火、快速热氧化、金属硅化适用域 科研、集成电路。此外,12英寸单片快速热退火系统的应用还涉及到泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务等领域,展示了其在半导体制造中的重要角色。这种系统的发展和应用,对于推动半导体技术的进步和促进相关产业的发展具有重要意义。‌


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