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半导体分析测试设备
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离子研磨系统 产品概述: 为了对样品内部结构进行观察、分析,必须让样品内部结构显露出来,日立离子研磨装置使用大面积低能量的Ar离子束,加工出无应力损伤的截面,为SEM观察样品的内部多层结构、结晶状态、 异物解析、层厚测量等提供有效的前处理方法。
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