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半导体分析测试设备
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探针式轮廓仪/台阶仪技术优势:1. 每次扫描数据点:最多可达120.000数据点2. 最大样品厚度:50mm(2英寸)3. 最大晶圆尺寸:200mm(8英寸)4 台阶高度重现性:4A,1sigma在1um台阶上5. 垂直范围:1mm(0.039英寸)6.垂直分辨率:最大1A (6.55um垂直范围下)
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