详细介绍
1. 产品概述
PlasmaPro 800是一款先进的等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备,专为大批量晶圆和300mm晶圆的生产需求而设计,提供了灵活且高效的处理解决方案。它引入了紧凑的开放式装载系统,使得操作更加便捷,同时提升了生产效率,适应各种制造环境。
该设备配备了460mm直径的工作台,具备处理整片300mm晶圆的能力,同时能够高效处理大批量的43 x 50mm(2")小晶圆,通过这一设计,PlasmaPro 800能够满足不同尺寸晶圆的生产需求,为用户提供全面的量产解决方案。这种高适应性的特点让用户能够灵活应对不断变化的市场需求,特别是在大规模生产环境中表现尤为突出。
此外,PlasmaPro 800以其出色的性能和可靠性赢得了市场的广泛认可。它支持多种材料的沉积工艺,能够应用于诸如光电设备、微电子器件、MEMS等多个领域,为客户的创新研发和产品制造提供强大动力。
综合来看,PlasmaPro 800不仅在技术上实现了突破,还通过其灵活的配置和高效的操作方式,将大批量晶圆的生产推向新的高度,为半导体产业的可持续发展提供了坚实的基础。
2. 特色参数
高性能工艺
准确的衬底温度控制
准确的工艺控制
成熟的300mm单晶圆失效分析工艺
3. 为化合物半导体、光电子和光子学应用提供了更为灵活的工艺,PlasmaPro 800 可提供:
大型电 - 低成本
刻蚀终点监测 - 可靠性和可维护性俱佳
通过激光干涉仪与/或发射光谱进行终点监测 - 增强刻蚀控制
可选择带有4-、8-或12-条气路的气柜 - 可提供灵活的工艺和工艺气体,可以与主机分离,放置在远端服务区
近距离耦合涡轮泵 - 提供优秀的泵送速度加快气体的流动速度
数据记录 - 追溯腔室的历史状态以及工艺条件
液体冷却和/或电加热电 - 出色的电温度控制和稳定性
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