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无掩模直接成像仪光刻机

简要描述:PG 300 DI 是一款体积图案发生器,专为在 i 线光刻胶中直接写入高分辨率微结构而设计。它源自掩模制作工具,具有所有先进的 VPG 系统组件,能够以最高的精度和准确度进行书写。最大写入区域覆盖 300 mm 晶圆。
VPG 300 DI 系统的目标用途主要是学术和工业研究与开发,这些领域需要高灵活性和小于 2 μm 的特性。该系统可满足各种应用的需求,包括产品原型制作、MEMS、与其他工具的

  • 产品型号:VPG 300 DI
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-05
  • 访  问  量: 166

详细介绍

产品概述:

PG 300 DI 是一款体积图案发生器,为在 i 线光刻胶中直接写入高分辨率微结构而设计。它源自掩模制作工具,具有所有先进的 VPG 系统组件,能够以高的精度和准确度进行书写。大写入区域覆盖 。

写入模式

写作表现



小特征尺寸 [μm]

0.5

0.8

小行数和间距 [μm]

0.8

1.2

地址网格 [nm]

4

8

边缘粗糙度 [3σnm]

30

40

CD均匀度 [3σnm]

50

60

2鼈层对齐(全局)[nm]

100

130

写入速度 [mm2/分钟]

340*

1020*

*快速模式:680 2056 mm2/min,具有相似的性能,但没有规格



100 x 100 mm 的曝光时间2面积 [min]

39

17

系统特点


光源

355 nm 的高功率 DPSS 激光器

大基板尺寸和写入面积

300 x 300 毫米2

基板厚度

0 12 mm (可根据要求提供其他厚度)

大曝光面积

300 x 300 毫米2

自动对焦

实时自动对焦系统(光学和气动)

自动对焦补偿范围

高达 80 μm

流量箱

(闭环)温控环境试验箱

对准和计量

用于测量和对准的相机系统和软件包

其他功能和选项

100150200 300 mm 晶圆的全自动处理和预对准。光学边缘检测、顶部对准以及可选的红外和背面对准。Zerodur® 载物台和高分辨率差分干涉仪

系统尺寸



系统 / 电子机架

宽度 [mm]

2605 / 800

深度 [mm]

1652 / 650

高度 [mm]

2102 / 1800

重量 [kg]

3550 / 180

安装要求


电气

400 VAC ± 5 %50/60 Hz16 A3

压缩空气

6 - 10




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