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有掩膜光刻机

简要描述:VPG 200 / VPG 400 体积图形发生器是光刻系统,专为 i-line 光刻胶的多用途掩模制造而设计。它们支持所有标准的中小型面罩尺寸,最大尺寸为 410 x 410 mm++2.应用包括 MEMS 掩模制造、先进封装、3D 集成、LED 和 OLED 掩模以及微流体。

VPG 具有经过现场验证的超高速曝光引擎和高功率 DPSS 激光器。其技术将高分辨率、准确性和出色的图像质量与高吞吐

  • 产品型号:VPG 200 / VPG 400
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-04
  • 访  问  量: 263

详细介绍

1. 产品概述:

VPG 200 / VPG 400 体积图形发生器是光刻系统,为 i-line 光刻胶的多用途掩模制造而设计。它们支持所有标准的中小型面罩尺寸,大尺寸为 410 x 410 mm++2.

写入模式

I-QX系列

一代

二代

三代

写作表现





小结构尺寸 [μm]

0.75

0.75

1

2

小行数和间距 [μm]

1.5

1.5

2

4

地址网格 [nm]

12.5

12.5

25

50

边缘粗糙度 [3σnm]

30

40

50

70

CD均匀度 [3σnm]

55

65

75

110

拼接稳定性 [3σnm]

30

60

70

100

2 层对准 [nm]

225

225

350

500

写入速度 [mm²/min]

485

970

3150

6400

100 x 100 mm 的曝光时间2面积 [min]

28

14

5.6

3.5

系统特点


光源

355 nm 的高功率 DPSS 激光器

大基板尺寸

9 英寸 x 9 英寸/17 英寸 x 17 英寸

基板厚度

0 12 mm (可根据要求提供其他厚度)

大曝光面积

205 x 205 毫米2/ 410 x 410 毫米2

自动对焦

实时自动对焦系统(光学和气动)

自动对焦补偿范围

高达 80 μm

流量箱

(闭环)温控环境试验箱

对准

用于测量和对准的相机系统和软件包

其他功能和选项

2D载物台贴图和数据、Mura校正、边缘检测器、多种数据输入格式(DXFCIFGDSIIGerber等)、可选的自动掩模处理、可选的Zerodur®载物台和特殊卡盘



系统尺寸



系统 / 电子机架

宽度 [mm]

2605 / 800

深度 [mm]

1652 / 650

高度 [mm]

2102 / 1800

重量 [kg]

3550 / 180



安装要求


电气

400 VAC ± 5 %50/60 Hz16 A3

压缩空气

6 - 10










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