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Load-lock式溅射设备

简要描述:Load-lock式溅射设备CS-200

Load-lock式溅射设备CS-200,是可对应从研究开发到小规模量产的溅射设备。

  • 产品型号:CS-200
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-28
  • 访  问  量: 97

详细介绍

Load-lock式溅射设备CS-200

Load-lock式溅射设备CS-200,是可对应从研究开发到小规模量产的溅射设备。
  • 产品特性 / Product characteristics

  • •      活用过往的工艺及数据的know-how,创新的的便利设计

    在Load-lock室内搭载cassette机构(可选)提升生产能力
    基板搬送尺寸大为. φ300mm(膜厚均一性保证部分为中心φ200mm部份)
    可对应多个cathode多层成膜/共溅射
    可由touch panel操作开始自动制程、输入recipe实现省力化运作
    可对应Data-logging


  • 产品应用 / Product application

  • 成电膜,多层电同时成膜
    电介质膜成膜,绝缘膜,钝化,保护膜等
    电子部件向研究开发,及小规模生产


  • 产品参数 / Product parameters


1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年(公司成立年)
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额



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