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12英寸槽式清洗设备

简要描述:WE3102系列 12英寸槽式清洗设备,可配备 i-Clean 多药液工艺槽,支持 DN unit, DIO3 等附属功能。

  • 产品型号:WE3102系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-05
  • 访  问  量: 263

详细介绍

1. 产品概述

WE3102系列 12英寸槽式清洗设备,可配备 i-Clean 多药液工艺槽,支持 DN unit, DIO3 等附属功能。

2. 设备用途/原理

WE3102系列 12英寸槽式清洗设备可配备 i-Clean 多药液工艺槽,支持 DN unit, DIO3 等附属功能软件量身定制,具备快速更新能力较高的温度控制稳定性超高的补水精度精准的蚀刻速率控制优秀的干燥效果

3. 设备特点

晶圆尺寸 12 英寸适用材料 光阻、单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属膜、金属氧化物适用工艺 炉清洗、刻蚀 / 抛光后清洗、光阻去除、金属氧化物去除、氮化物去除、控挡片回收适用域 新兴应用、集成电路

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