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12英寸单片清洗设备

简要描述:Saqua SC3080A系列 12英寸单片清洗设备

1、精密的腔室微环境控制能力

  • 产品型号:Saqua SC3080A系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-26
  • 访  问  量: 102

详细介绍

1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年(公司成立年)

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额


Saqua SC3080A系列 12英寸单片清洗设备

1、精密的腔室微环境控制能力

Chamber with precision-controlled Mini-environment

2、支持多种化学品

Supports multi-Chemicals

3、高效的化学品回收效率

High Chemical reclaim rate efficiency

4、4 腔或 8 腔可选

Option to choose between 4 or 8 chambers


技术参数

1、晶圆尺寸 12 英寸

2、适用材料 单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、介质膜、金属膜

3、适用工艺 后段 Cu/Al 制程刻蚀后清洗、Al Pad 清洗、背面清洗、背面刻蚀, 后段控挡片回收

4、适用领域 新兴应用、集成电路、先进封装




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