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8英寸通用物理气相沉积系统

简要描述:eVictor系列 8英寸通用物理气相沉积系统
加热基座设计,具备良好的温度均匀性,高温厚铝工艺连续作业无累温

  • 产品型号:eVictor系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-26
  • 访  问  量: 52

详细介绍

1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年(公司成立年)

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额


eVictor系列 8英寸通用物理气相沉积系统

1、加热基座设计,具备良好的温度均匀性,高温厚铝工艺连续作业无累温

Unique design of heating pedestal, ensure superior temperature uniformity, continuous running without temperature accumulation effect in HT-Thick Al process

2、高温铝工艺具备高深宽比填充能力

HT-Thick Al process with high aspect ratio filling capacity

3、背金工艺薄片传输及工艺,过程温度实时监控,优异的温度和应力控制能力

Thin wafer handle for backside metal, excellent temperature control and stress control

4、双腔传输平台,最多可支持 10 个工艺模块

Platform with two transfer modules, configuration upto 10 process modules

5、靶材利用率高,大产能,低运营成本

Higher target utilization rate, higher throughput, lower CoO/CoC


技术参数

1、晶圆尺寸 6、8 英寸

2、适用材料 钛、氮化钛、铝、 镍、镍钒、银

3、适用工艺 铝线、正面电极工艺、背面金属化工艺等

4、适用领域 科研、化合物半导体、集成电路




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