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电阻式碳化硅长晶炉

简要描述:AGF系列 电阻式碳化硅长晶炉
适用于 6、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长

  • 产品型号:AGF系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-26
  • 访  问  量: 77

详细介绍

1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年(公司成立年)

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额


AGF系列 电阻式碳化硅长晶炉

1、适用于 6、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长

Applicable for 6, 8 inch conductive/HPSI SiC crystal growth

2、4 组加热器独立控制,灵活的温场调节机能力

4 units of heater independent control, temperature field can adjustment flexible

3、坩埚系统具备升降、旋转功能,温场更均匀

Crucible system with lifting and rotating functions, better uniformity of temperature field

4、下装载,上维护,操作便捷

Individual loading area and maintenance area, bottom loading, top maintenance, operation more convenient


技术参数 Technical Parameters

1、晶体尺寸 6、8 英寸

2、加热方式 电阻加热

3、适用材料 碳化硅

4、适用工艺 物理气相输运法(PVT 法)

5、适用领域 科研、化合物半导体




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