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感应式碳化硅长晶炉

简要描述:APS系列 感应式碳化硅长晶炉,适用于 6 英寸、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长。

  • 产品型号:APS系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-05
  • 访  问  量: 161

详细介绍

1. 产品概述

APS系列 感应式碳化硅长晶炉,适用于 6 英寸、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长。

2. 设备用途/原理

APS系列 感应式碳化硅长晶炉适用于 6 英寸、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长创新的结构设计,提供高纯材料生长能力智能的运行 / 监控系统,适于长时间 / 高温 / 低压工艺,拓宽高质量 / 大规模晶体生长窗口包含多款辅助设备:大产能原料合成炉、晶锭退火炉、氮化铝长晶炉及 其他定制化设备

3. 设备特点

晶体尺寸 6、8 英寸加热方式 感应加热适用材料 碳化硅、氮化铝适用工艺 物理气相输运法(PVT 法)适用域 科研、化合物半导体


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