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感应式碳化硅长晶炉

简要描述:APS系列 感应式碳化硅长晶炉
适用于 6 英寸、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长

  • 产品型号:APS系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-26
  • 访  问  量: 62

详细介绍

1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年(公司成立年)

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额


APS系列 感应式碳化硅长晶炉

1、适用于 6 英寸、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长

Applicable for 6, 8 inch conductive/HPSI SiC crystal growth

2、创新的结构设计,提供高纯材料生长能力

Innovative design provide high purity crystal growth environment

3、智能的运行 / 监控系统,适于长时间 / 高温 / 低压工艺,拓宽高质量 / 大规模晶体生长窗口

Smart operation/monitoring system suit for long-time/high-temp/low-pressure process, expanding process window for high quality & mass production crystal growth

4、包含多款辅助设备:大产能原料合成炉、晶锭退火炉、氮化铝长晶炉及 其他定制化设备

Including accessory equipment, powder synthesis furnace, ingot annealing furnace, AlN crystal growing furnace & customized equipment


技术参数 Technical Parameters

1、晶体尺寸 6、8 英寸

2、加热方式 感应加热

3、适用材料 碳化硅、氮化铝

4、适用工艺 物理气相输运法(PVT 法)

5、适用领域 科研、化合物半导体




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