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8英寸单片常压/减压硅外延系统

简要描述:Esther/Eris 系列 8英寸单片常压/减压硅外延系统,传输系统和工艺模块设计可兼容多种工艺用途,友好的人机交互和安全性设计保障系统稳定、安全、高效,具有单腔和多腔两种机型,可满足不同客户需求。

  • 产品型号:Esther/Eris 系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-05
  • 访  问  量: 153

详细介绍

1. 产品概述

Esther/Eris 系列 8英寸单片常压/减压硅外延系统,传输系统和工艺模块设计可兼容多种工艺用途,友好的人机交互和安全性设计保障系统稳定、安全、高效,具有单腔和多腔两种机型,可满足不同客户需求。

2. 设备用途/原理

Esther/Eris 系列 8英寸单片常压/减压硅外延系统Esther/Eris 系列 8英寸单片常压/减压硅外延系统传输系统和工艺模块设计可兼容多种工艺用途友好的人机交互和安全性设计保障系统稳定、安全、高效具有单腔和多腔两种机型,可满足不同客户需求

3. 设备特点

晶圆尺寸 6、8 英寸适用材料 适用工艺 常压:N&P 常压硅外延减压:埋层外延、选择性外延、多晶外延适用域 科研、集成电路

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