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8英寸多片硅外延系统

简要描述:SES系列 8英寸多片硅外延系统
适用于 5-150 微米范围的硅外延工艺

  • 产品型号:SES系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-26
  • 访  问  量: 70

详细介绍

1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年(公司成立年)

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额


SES系列 8英寸多片硅外延系统

1、适用于 5-150 微米范围的硅外延工艺

Advanced reactor for 5-150µm Silicon Epitaxy

2、先进的感应加热和气流场技术提供了优良稳定的工艺性能

Advanced induction heating and gas flow field technology provide excellent and stable process performance

3、多片平板式设计,高容载量

Multi-wafer horizontal design, high capacity

4、自动化程度高、产能高、低运营成本

High automation and throughput, lower CoO/CoC


技术参数

Technical Parameters

1、晶圆尺寸 4、5、6、8 英寸

Wafer size 4"5"6"8"

2、适用材料 硅

Applicable material Si

3、适用工艺 N&P 硅外延

Applicable process N&P type Si epitaxy

4、适用领域 科研、集成电路

Applied field R&D, IC




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